日本Lambda-vision拉姆达分光式膜厚测定仪TFW-100(1)（2）(3)
这是工业领域的低成本光谱膜厚测量设备。
由于它是非接触式和非破坏性的，因此可以在短时间内轻松测量而不会损坏样品。
它广泛用于研发和在线质量控制中的膜厚测量。
以低廉的价格实现了高精度和高稳定性。
如果您正在考虑使用光谱膜测厚仪，请联系我们。
<特点>
・可进行非接触式、非破坏性的膜厚测量。
・厚度为 10nm~1000μm，可支持多达 3 层的膜厚测量。
・不仅可以测量薄膜厚度，还可以测量光学倍增器（n、k）。
（最多 3 个参数）
・ 与微小点兼容。
・还可以测量彩色滤光片颜料膜的厚度。
■ 规格
| 类型 | TFW-100型 （1） | TFW-100型 （2） | TFW-100型 （3） |
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| 用 | 用于 ITO 等薄膜 | 一般用于薄膜厚度 | 彩色滤镜颜料用于
薄膜厚度 |
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| 测量的薄膜厚度 | 数量：10nm ~ 500nm （C/F），
500nm ~ 15μm （FFT） | 150nm~1.5μm（C/F）
1.5μm~60μm（FFT） | 500nm~10μm（C/F） |
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| 测量可重复性 | 0.2%~1%（取决于薄膜质量） |
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| 测量波长 | 300纳米~1000纳米 | 400 纳米~700 纳米 | 900纳米~1600纳米 |
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| 光源 | 12V-100W 卤素灯 |
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| 测量软件 | TF-Lab （曲线拟合 / FFT） |
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■ 膜厚测量的应用实例（1） 与晶圆输送机相结合的自动测量
| （2） 使用带有 XYZ 平台的样品测量台进行测量
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